Pulsed laser deposition (PLD) of MoO 3 thin films and their gas sensin的简体中文翻译

Pulsed laser deposition (PLD) of Mo

Pulsed laser deposition (PLD) of MoO 3 thin films and their gas sensing properties are reported. As-deposited films were found to be a mixture of sub-oxides. Post-annealing of the films in air at 773K for 5h transforms the sub-oxides to MoO 3 with diminished intensities of (0 k 0) reflections. The microstructure of the films were investigated by scanning electron microscopy and atomic force microscopy (AFM). Sensors made of thin films (∼1μm) of MoO 3 deposited at 673K followed by post-annealing in air at 773K exhibit a high selectivity for ammonia in the temperature range of 508–555K with fast response (∼15s) and retrace times (∼300s)
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报道了MoO 3薄膜的脉冲激光沉积(PLD)及其气敏特性。发现沉积的薄膜是低价氧化物的混合物。薄膜在773K的空气中进行5h后退火,将亚氧化物转变为MoO 3,其反射强度降低(0 k 0)。通过扫描电子显微镜和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的微观结构。由在673K沉积的MoO 3薄膜(约1μm),然后在773K的空气中进行后退火制成的传感器在508-555K的温度范围内对氨具有高选择性,并具有快速响应(约15s)和回扫时间(约300s)
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报道了MoO 3薄膜的脉冲激光沉积(PLD)及其气体传感特性。作为沉积的薄膜被发现是亚氧化物的混合物。在 773K 时,在空气中对薄膜进行 5h 的退火后,将亚氧化物转换为 MoO 3,同时减少反射强度 (0 k 0)。通过扫描电子显微镜和原子力显微镜(AFM)对薄膜的微观结构进行了研究。由薄膜 (±1μm) 制成的 MoO 3 的传感器沉积在 673K 处,随后在 773K 时在空气中进行退火后,在 508~555K 的温度范围内,具有高选择性,响应速度快 (±15s) 和回溯时间 (300s)
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报道了脉冲激光沉积MoO 3薄膜及其气敏特性。沉积的薄膜是亚氧化物的混合物。773K空气中退火5h后,亚氧化物转变为MoO 3,反射强度降低(0 k 0)。用扫描电镜和原子力显微镜(AFM)研究了薄膜的微观结构。由673K沉积的MoO 3薄膜(∼1μm)经773K空气后退火制成的传感器,在508-555K的温度范围内对氨具有高选择性,响应快(∼15s),回溯时间(∼300s)<br>
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