4.3. Component Specific Qualificati

4.3. Component Specific Qualification: Process procedures for all components or families of components processed to this specification shall be qualified to the minimum requirements listed below.4.3.1. Process Procedure Qualification: Minimum first article testing and inspection requirements for qualifying a process procedure for a component or a family of components to this specification are specified in Table II. First article inspection shall be conducted with inspection results communicated to Applied Materials SPE in accordance with procedure defined in Applied Materials Corporate QMS Document CORP0117, “Corporate First Article Inspection Procedure” and work instruction 2-60.1, “Supplier First Article Inspection Requirements.” The Test and Inspection Report (T&IR) shall include results of the following testing and inspection:4.3.1.1. Coating Thickness: Measurement shall be performed per each first article (FA).4.3.1.2. Surface Finish: Measurement shall be performed per each FA.4.3.1.3. Corrosion Resistance (HCl Bubble Test): Test shall be conducted on coupons processed with FA per each FA.4.3.1.4. Dielectric Breakdown Voltage: Test shall be conducted on coupons processed with FA per each FA 4.3.1.5. Color: Measurement shall be performed per each FA.4.3.1.6. Admittance: Test shall be conducted on coupons processed with FA per each FA.4.3.1.7. Microhardness: Test shall be conducted per each FA.4.3.1.8. Surface Cleanliness: Inspection shall be performed per each FA.4.3.1.9. Visual Inspection: Inspection shall be performed per each FA.4.3.1.10. Masking Workmanship: Inspection shall be performed per each FA.4.3.1.11. Black Light Inspection: Inspection shall be performed per each FA.

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4.3。特定于组件的资格：按照本规范处理的所有组件或组件族的处理程序，应符合以下所列的最低要求。 4.3.1。工艺规程资格：表II中指定了使本组件的一个或一系列组件的工艺规程合格的最低首件测试和检验要求。应按照应用材料公司QMS文件CORP0117“公司第一件检查程序”和工作指令2-60.1“供应商第一件检查要求”中规定的程序，将第一件检查的检查结果传达给应用材料SPE。测试和检查报告（T＆IR）应包括以下测试和检查的结果： 4.3.1.1。涂层厚度：应根据每个第一物品（FA）进行测量。 4.3.1.2。表面光洁度：应按照每个FA进行测量。 4.3.1.3。耐腐蚀性（HCl气泡测试）：应按照每个FA对用FA处理过的试样进行测试。 4.3.1.4。介电击穿电压：应按照每个FA 4.3.1.5对用FA处理过的试样进行测试。颜色：应根据每个FA进行测量。 4.3.1.6。准入：应根据每个FA对用FA处理过的试样进行测试。 4.3.1.7。显微硬度：应按照每个FA进行测试。 4.3.1.8。表面清洁度：每个FA都要进行检查。 4.3.1.9。外观检查：应按照每个FA进行检查。 4.3.1.10。掩盖工艺：应按照每个FA进行检查。 4.3.1.11。黑灯检查：应按照每个FA进行检查。

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4.3. 组件特定资格：按照本规范处理的所有组件或组件的工艺程序应符合以下最低要求。 4.3.1. 流程程序资格：表二中规定了符合此规范的组件或组件系列的流程程序的最低第一条测试和检验要求。第一条检验应当按照《应用材料企业QMS文件CORP0117》、《企业第一条检验程序》和《供应商第一条检验要求》第2-60.1条规定的程序，将检验结果传达给应用材料SPE。测试和检验报告（T&IR）应包括以下测试和检查的结果： 4.3.1.1. 涂层厚度：应按每第一篇文章（FA）进行测量。 4.3.1.2. 表面表面完成：应按每个 FA 进行测量。 4.3.1.3. 耐腐蚀性（HCL 气泡测试）：应对每个足总用 FA 处理的优惠券进行测试。 4.3.1.4. 电介质故障电压：应对每个 FA 与 FA 处理的优惠券进行测试 4.3.1.5. 颜色：应按每个 FA 进行测量。 4.3.1.6. 入场费：测试应在每家足总用足总处理的优惠券上进行。 4.3.1.7. 微硬度：应按每个足总进行测试。 4.3.1.8. 表面清洁度：应按每个足总进行检查。 4.3.1.9. 目视检查：每个足协应进行检查。 4.3.1.10. 遮蔽工艺：每个足协应进行检查。 4.3.1.11. 黑灯检查：每个足总应进行检查。

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4.3. 组件特定鉴定：根据本规范加工的所有组件或组件系列的工艺程序应符合下列最低要求。 4.3.1. 工艺程序鉴定：表II规定了根据本规范鉴定部件或部件系列工艺程序的最低首件试验和检验要求。首件检验应按照应用材料公司质量管理体系文件CORP0117“公司首件检验程序”和作业指导书2-60.1中规定的程序进行，并将检验结果传达给应用材料SPE，“供应商首件检验要求”。测试和检验报告（T&IR）应包括以下测试和检验的结果： 4.3.1.1. 涂层厚度：应根据每个首件（FA）进行测量。 4.3.1.2. 表面光洁度：应根据每个FA进行测量。 4.3.1.3. 耐腐蚀性（HCl气泡试验）：试验应在每个FA处理的试样上进行。 4.3.1.4. 介质击穿电压：应在每个FA处理的试样上进行试验 4.3.1.5. 颜色：应根据每个FA进行测量。 4.3.1.6. 准入：每个FA应在处理过FA的试样上进行测试。 4.3.1.7. 显微硬度：应根据每个FA进行试验。 4.3.1.8. 表面清洁度：应根据每个FA进行检查。 4.3.1.9. 目视检查：应按照每个FA进行检查。 4.3.1.10. 掩蔽工艺：应按照每个FA进行检查。 4.3.1.11. 黑光检查：应按照每个FA进行检查。

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