Equipment must follow up SEM F47-07

Equipment must follow up SEM F47-0706 SEMI F-47-0706 in the semiconductorprocess equipment to withstand voltage transients in the time to withstand voltage of50% nominal value of 0.2 seconds, the voltage of 70% nominal value for 0.5seconds, the voltage of 80% nominal value for 1 second.

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设备必须跟进在半导体SEM F47-0706 SEMI F47-0706 工艺设备承受电压瞬变在承受的电压的时间 为0.2秒，70％的标称值的电压的50％标称值0.5 秒时， 80％的标称值的电压为1秒。

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设备必须在半导体中跟进 SEM F47-0706 SEMI F-47-0706 工艺设备在承受电压瞬变时承受电压的 50% 标称值 0.2 秒，电压为 70% 标称值 0.5 秒，电压为 80% 标称值 1 秒。

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设备必须遵循半导体中的SEM F47-0706 SEMI F-47-0706 工艺设备耐受电压瞬变的时间 50%标称值0.2秒，电压70%标称值为0.5秒 秒，电压80%标称值持续1秒。

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