影响GaAs晶圆表面划痕形成的主要因素有磨粒粒径，晶圆受到的法向力，G

影响GaAs晶圆表面划痕形成的主要因素有磨粒粒径，晶圆受到的法向力，GaAs的晶面和晶向等。

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The main factors affecting the formation of scratches on the GaAs wafer surface are abrasive grain size, the normal force on the wafer, the crystal face and crystal orientation of GaAs, etc.

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The main factors affecting the formation of scratches on the surface of GaAs wafers are grinding particle size, the force of the wafer, the surface and crystal direction of GaAs, etc.

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The main factors that affect the scratch formation of GaAs wafer surface are the size of abrasive particles, the normal force on the wafer, the crystal surface and orientation of GaAs.

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