这对RIE的产业化来说毫无疑问是一个好消息，尽管实验材料是单晶硅而不是

这对RIE的产业化来说毫无疑问是一个好消息，尽管实验材料是单晶硅而不是多晶硅

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This is undoubtedly good news for the industrialization of the RIE, despite the experimental material is single crystal silicon instead of polycrystalline silicon

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This is undoubtedly good news for RIE's industrialization, even though the experimental material is monocrystalline silicon rather than polysilicon.

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This is undoubtedly good news for the industrialization of RIE, although the experimental material is monocrystalline silicon rather than polycrystalline silicon<BR>

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