The backscattered scanning electron

The backscattered scanning electron micrographs of Li2MoO4-Ag multilayer using the CSCC technology are shown in Figure 5. A dense and homogeneous microstructure can be observed. As the CSP of Li2MoO4-Ag multilayer is assisted by pressure, there is no delamination or warping, which may occur in the conventional thermal sintering process, the areal size of these multilayers are about 2.7 cm 9 2.7 cm. From the metal/ceramic interface shown in Figure 5C, it is seen that Ag electrode and Li2MoO4 ceramic coexist with each other, and there is no chemical reaction between them. The Ag/Li2MoO4 boundary is also clear, and no obvious interdiffusion is detected. This multilayer structure formed from cold sintering technique indicates that CSCC technology is a promising method to fabricate ceramic-metal multilayers.

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使用 CSCC 技术的 Li2MoO4-Ag 多层膜的背散射扫描电子显微照片如图 5 所示。可以观察到致密且均匀的微观结构。由于 Li2MoO4-Ag 多层膜的 CSP 在压力的辅助下，不会出现传统热烧结工艺中可能发生的分层或翘曲，这些多层膜的面积尺寸约为 2.7 cm 9 2.7 cm。从图5C所示的金属/陶瓷界面可以看出，Ag电极和Li2MoO4陶瓷是共存的，它们之间没有发生化学反应。Ag/Li2MoO4 边界也很清楚，没有检测到明显的相互扩散。这种由冷烧结技术形成的多层结构表明 CSCC 技术是一种很有前途的制造陶瓷-金属多层膜的方法。

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使用CSCC技术的Li2MoO4-Ag多层膜的背散射扫描电子显微图如图5所示。可以观察到致密均匀的微结构。由于Li2MoO4-Ag多层膜的CSP由压力辅助，因此在传统的热烧结工艺中不会发生分层或翘曲，这些多层膜的面积尺寸约为2.7 cm 9 2.7 cm。从图5C所示的金属/陶瓷界面可以看出，银电极和Li2MoO4陶瓷共存，它们之间没有化学反应。Ag/Li2MoO4边界也清晰，未检测到明显的互扩散。这种由冷烧结技术形成的多层结构表明，CSCC技术是制备陶瓷-金属多层膜的一种很有前途的方法。

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使用CSCC技术的Li2MoO4-Ag多层的背散射扫描电子显微照片如图5所示。可以观察到稠密且均匀的microstructure。由于Li2MoO4-Ag多层的CSP是由压力辅助的，因此不存在在常规热烧结工艺中可能出现的分层或翘曲，这些多层的面积尺寸约为2.7 cm 9 2.7 cm。从图5C所示的金属/陶瓷界面可以看出，Ag电极和Li2MoO4陶瓷共存，它们之间没有化学反应。Ag/li2mo 4边界也清晰，未检测到明显的相互扩散。这种由冷烧结技术形成的multilayer结构表明CSCC技术是一种很有前途的制备陶瓷-金属多层膜的方法。

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