Also, when working under the DC non

Also, when working under the DC non-resonance working mode, the maximum output displacement was 2.62 um. And the measurable minimum output displacement was 50 nm, which can reach smaller in theory. The correlation coefficient between the output displacement and the input DC voltage is 0.998, which was good for the control of the actuator under the non-resonance working mode. This piezoelectric actuator can accomplish linear position quickly and accurately in a large stroke with simple structure using bending modes.

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另外，在直流非谐振工作模式下工作时，最大输出位移为2.62 um。可测量的最小输出位移为50 nm，理论上可以减小。输出位移与输入直流电压之间的相关系数为0.998，对于非共振工作模式下的执行器控制是有利的。该压电致动器可以利用弯曲模式以简单的结构在大行程中快速且准确地完成线性位置。

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此外，在直流非谐振工作模式下工作时，最大输出位移为 2.62 um。可测量的最小输出位移为50纳米，理论上可以达到更小。输出位移与输入直流电压之间的相关系数为0.998，在非谐振工作模式下对执行器的控制是大有为。该压电执行器使用弯曲模式，以简单的结构，在大冲程中快速、准确地完成线性位置。

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在直流非谐振工作模式下，最大输出位移为2.62um。可测量的最小输出位移为50nm，理论上可以达到较小的输出位移。输出位移与输入直流电压的相关系数为0.998，有利于执行器在非谐振工作模式下的控制。该压电驱动器采用弯曲模态，结构简单，能快速、准确地完成大行程直线定位。<br>

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