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1stエピ装置の履歴を確認したところ、通常のコート時間ではプラッタのコ
1stエピ装置の履歴を確認したところ、通常のコート時間ではプラッタのコーティング(ノンドープ膜)が不十分で、プラッタから脱離したp型ドーパントが対象ロットの結晶成長開始時に取り込まれたため、対象ウエハロットの外周の一部分のp型ドーパント濃度が高くなり、ロットの一部しか今回の現象が発生しなかったものと考えます。
1stエピ装置の履歴を確認したところ、通常のコート時間ではプラッタのコーティング(ノンドープ膜)が不十分で、プラッタから脱離したp型ドーパントが対象ロットの結晶成長開始時に取り込まれたため、対象ウエハロットの外周の一部分のp型ドーパント濃度が高くなり、ロットの一部しか今回の現象が発生しなかったものと考えます。
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确认第一个Epi设备的历史后,在正常涂覆时间内,盘片(非掺杂膜)的涂层不足,并且在目标批次的晶体生长开始时从盘片中解吸的p型掺杂剂被吸收了。认为在外周的一部分中的p型掺杂剂浓度变高,仅在一部分中发生该现象。
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经确认第一脱毛装置的历史,在正常涂层时间,盘片涂层(非掺杂膜)不足,由于从盘片中分离的p型掺杂物在目标批次的晶体生长开始时被捕获,目标晶圆批次外周部分的p型掺杂物浓度增加,认为只有部分批次出现这种现象。
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确认了1st外延装置的历史,在通常的大衣时间中,由于Platter的涂覆(未掺杂膜)不足,在对象批次的晶体生长开始时取入脱离Platter的p型掺杂剂,因此对象晶片的外周的一部分的p型掺杂剂浓度价格上涨,本次的现象只发生了一部分批次。<br>
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, 等语言的翻译.
神明
5.2 Gjutoptimering5.2.1 GjutuppdelningEn
Hakonechloa macra'Aureola'
承認日
由于受多种因素的影响,它基本无法被完全控制,有时也表现出一定的周期性,是不可分散
Трубка Никси обладает характеристиками в
frumentum
5.1.2 Förslag på gjutmetodNär gjutmateri
ロットの一部しか今回の現象が発生しなかったものと考えます。
以上の指摘事項の対策計画は5月22日までに提出し、6月12日前に是正完了すること
filin
海派快船服务
Hakonechloa macra
Co han nay ko e
YESOS
可爱的
无线通信技术出现于1897年,意大利的发明家马可尼(Guglielmo Marc
Auf diesem beruht anscheinend nicht nur
槐树
麦神
用于安全Web应用程序的软件开发方法
Auf diesem beruht anscheinend nicht nur
玉米
wasa
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