APPENDIX C: Recommended Practices f

APPENDIX C: Recommended Practices for Specifying RequirementsThis appendix is a recommended practice for (specifying) Oxalic acid anodic coatings for critical Etch chamber components; final call-out shall be per Applied Materials drawings:A1. When the component to be anodized has no blind holes, through holes, threaded inserts or dowel pins:FINISH: OXALIC ACID ANODIZE PER APPLIED MATERIALS SPECIFICATION 0250-34212 TO THICKNESS 0.00XX  0.00YY INCH. ALL DIMENSIONS APPLY AFTER FINISH.A2. When the component to be anodized has at least one of the following features: blind holes, through holes, threaded inserts and/or dowel pins:FINISH: OXALIC ACID ANODIZE PER APPLIED MATERIALS SPECIFICATION 0250-34212 TO THICKNESS 0.00XX  0.00YY INCH. ALL DIMENSIONS APPLY AFTER FINISHING. UNLESS OTHER WISE SPECIFIED, ALL THREADED HOLES PLUGGED OR MASKED. INSTALL THREADED INSERTS AND/OR DOWEL PINS AFTER FINISHING.A3. Default oxalic acid anodic coatings shall be Hot DI water sealed. Specify DI water sealing as follows: “Hot DI WATER SEAL PER APPLIED MATERIALS SPECIFICATION 0250-34212.”A4. Surfaces not to be anodized shall be indicated on drawings.A5. The requirements specified in Section 3.5 are not applicable to holes for threaded inserts and dowel pins. Masking or plugging of all such holes is mandatory unless otherwise indicated.A6. For oxalic acid anodic coatings on 6061 aluminum alloys, the typical thickness used in critical chamber components at Applied Materials is 0.0011  0.0002 inches.A7. Anodic coatings tend to develop voids and cracks at sharp corners and edges due to the manner of coating formation. All edges shall be radiused prior to anodizing. Chamfering shall not be applied unless resulting sharp edges are radiused. The recommended radii of curvature for various coating thickness are summarized in Table A1.A8. In some applications it may be desirable to apply oxalic acid anodic coatings to surfaces that have been textured. This specification includes requirements for both smooth surfaces (≤ 32 in Ra) and typical textured surfaces (100-140 in Ra). While oxalic acid anodic coatings may be applied to surfaces outside these texture ranges, this specification does not define performance requirements for such coatings.

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附录C：规定要求 的推荐作法本附录是（指定）用于关键蚀刻室组件的草酸阳极涂层的推荐作法。最终标注应根据应用材料图纸： A1。当待阳极氧化的部件没有盲孔，通孔，螺纹插入件或销钉时 ：精加工：每一种适用材料的草酸阳极氧化0250-34212的厚度为0.00XX0.00YY INCH。所有尺寸均在完成后应用。 A2。当待阳极氧化的组件具有以下至少一项功能时：盲孔，通孔，螺纹嵌件和/或定位销： 精加工：草酸按每种适用材料规格0250-34212进行阳极氧化，厚度为0.00XX0.00YY英寸。所有尺寸均在涂装后适用。除非另有其他说明，否则所有插入或掩盖的螺纹孔均会出现。精加工后安装螺纹插入件和/或道钉。 A3。默认的草酸阳极涂层应为热DI水密封。指定DI水封，如下所示：“每种应用材料的DI水热密封0250-34212。” A4。不应进行阳极氧化的表面应在图纸上注明。 A5。3.5节中规定的要求不适用于螺纹嵌件和定位销的孔。除非另有说明，否则必须掩盖或堵塞所有此类孔。 A6。对于6061铝合金上的草酸阳极涂层，应用材料在关键腔室组件中使用的典型厚度为0.00110.0002英寸。 A7。由于涂层形成的方式，阳极涂层倾向于在尖角和边缘处形成空隙和裂纹。在阳极氧化之前，所有边缘都应先倒圆角。除非产生的尖锐边缘被倒圆，否则不得进行倒角。表A1总结了各种涂层厚度的推荐曲率半径。 A8。在某些应用中，可能希望将草酸阳极涂层施加到已纹理化的表面上。该规范包括对光滑表面（Ra中≤32））和典型纹理化表面（Ra中100-140）的要求。尽管草酸阳极涂层可以应用于这些纹理范围以外的表面，但该规范并未定义此类涂层的性能要求。

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附录 C：指定要求的建议做法 本附录是（指定）关键蚀刻室组件的氧化酸无害涂层的推荐做法：最终调用应按应用材料图纸： A1.当被阳极化的组件没有盲孔时，通过孔、螺纹插入物或圆顶引脚： 完成：每种应用材料的氧化氧酸规格 0250-34212 至厚度 0.00XX  0.00YY 英寸。完成后适用所有尺寸。 A2.当要阳极化的组件至少有以下特征之一时：盲孔、穿孔、螺纹插入物和/或圆顶引脚： 完成：每种应用材料的氧化氧酸规格 0250-34212 至厚度 0.00XX  0.00YY 英寸。完成后适用所有尺寸。除非其他明智的指定，所有螺纹孔插入或掩盖。完成后安装螺纹插件和/或圆顶引脚。 A3.默认的牛酸抗酸涂层应密封热DI水。指定 DI 水密封如下："热 DI 水密封每应用材料规格 0250-34212"。 A4.不具有阳极化的表面应在图纸上注明。 A5.第 3.5 节中指定的要求不适用于螺纹插入物和钉针的孔。除非另有说明，否则必须遮蔽或堵塞所有此类孔。 A6.对于 6061 铝合金上的 Oxal 酸 anodic 涂层，应用材料关键腔室组件中使用的典型厚度为 0.0011  0.0002 英寸。 A7.由于涂层形成的方式，Anodic 涂层往往在锋利的角落和边缘形成空隙和裂缝。所有边缘应在阳极化前半径。除非形成锋利的边缘半径，否则不得应用沙姆法林。各种涂层厚度的曲率推荐半径在表 A1 中进行了总结。 A8.在某些应用中，将氧化酸抗酸涂层涂层应用于已纹理的表面可能是可取的。此规范包括平滑表面（≤ 32 in Ra）和典型纹理表面（100-140 in Ra）的要求。虽然可将牛酸抗酸涂层应用于这些纹理范围以外的表面，但此规范并未定义此类涂层的性能要求。

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附录C：规定要求的推荐规程 本附录是用于（规定）关键蚀刻室组件的草酸阳极涂层的推荐实施规程；最终要求应符合应用材料图纸： A1。当待阳极化的组件没有盲孔、通孔、螺纹插入件或定位销时： 饰面：按照应用材料规范0250-34212进行草酸阳极氧化，厚度为0.00XX±0.00YY英寸。所有尺寸在完成后适用。 A2。待阳极氧化的部件至少具有以下特征之一：盲孔、通孔、螺纹插入件和/或定位销： 饰面：按照应用材料规范0250-34212进行草酸阳极氧化，厚度为0.00XX±0.00YY英寸。所有尺寸适用于精加工后。除非另有规定，否则所有螺纹孔应堵塞或遮盖。完成后安装螺纹嵌件和/或定位销。 A3。默认草酸阳极涂层应为热去离子水密封。指定去离子水密封如下：“根据应用材料规范0250-34212，热去离子水密封。” A4页。未经阳极氧化的表面应在图纸上标明。 第5条。第3.5节中规定的要求不适用于螺纹嵌件和定位销孔。除非另有说明，否则必须遮盖或堵塞所有此类孔。 答6。对于6061铝合金上的草酸阳极涂层，在应用材料的关键腔室部件中使用的典型厚度为0.0011±0.0002英寸。 第七章。由于涂层的形成方式，阳极涂层容易在锐角和边缘形成空洞和裂纹。在阳极氧化之前，所有边缘应为圆角。除非产生的锐边呈圆角，否则不得进行倒角。各种涂层厚度的推荐曲率半径总结在表A1中。 A8级。在某些应用中，可能需要将草酸阳极涂层涂覆到已变形的表面上。本规范包括光滑表面（≤32μin Ra）和典型纹理表面（100-140μin Ra）的要求。虽然草酸阳极涂层可应用于这些纹理范围以外的表面，但本规范并未规定此类涂层的性能要求。

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