Hard anodic coatings for critical chamber components shall be specifie的简体中文翻译

Hard anodic coatings for critical c

Hard anodic coatings for critical chamber components shall be specified as follows onApplied Materials drawings:A1. When the component to be anodized has no blind holes, through holes, threadedinserts or dowel pins:FINISH: HARD ANODIZE PER APPLIED MATERIALS SPECIFICATION0250-39693 TO THICKNESS 0.00X  0.00Y INCH. ALL DIMENSIONSAPPLY AFTER FINISH.A2. When the component to be anodized has at least one of the following features:blind holes, through holes, threaded inserts and/or dowel pins:FINISH: HARD ANODIZE PER APPLIED MATERIALS SPECIFICATION0250-39693 TO THICKNESS 0.00X  0.00Y INCH. ALL DIMENSIONSAPPLY AFTER FINISHING. ALL THROUGH/BLIND HOLES PLUGGED ORMASKED. INSTALL THREADED INSERTS AND/OR DOWEL PINS AFTERFINISHING.A3. Default hard anodic coatings are DI water sealed unless otherw ise specified ondrawings.A4. Surfaces not to be anodized shall be indicated on drawings.A5. The requirements specified in Section 3.5 are not applicable to holes forthreaded inserts and dowel pins. Masking or plugging of all such holes ismandatory unless otherw ise indicated.A6. Hard anodic coatings tend to develop voids and cracks at sharp corners andedges due to the manner of coating formation. All edges shall be radiused priorto anodizing. Chamfering shall not be applied unless resulting sharp edges areradiused. The recommended minimum radii of curvature for various coatingthickness are summarized in Table A1.
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关键腔室部件的硬质阳极涂层应在“<br>应用材料”图纸上指定如下:<br>A1。当要进行阳极氧化的组件没有盲孔,通孔,螺纹<br>嵌件或定位销时:<br>精加工:硬阳极氧化每种适用材料规格<br>0250-39693的厚度为0.00X0.00Y英寸。所有尺寸均在完成后<br>应用。<br>A2。当要进行阳极氧化的组件至少具有以下特征之一时:<br>盲孔,通孔,螺纹嵌件和/或定位销:<br>精加工:硬阳极氧化每种适用材料规格<br>0250-39693的厚度为0.00X0.00Y英寸。所有尺寸均在<br>涂装后适用。所有插通/盲孔或<br>遮罩 精加工后安装螺纹插入件和/或道钉<br>。<br>A3。除非<br>图纸上另有规定,否则默认的硬质阳极涂层均采用DI水密封。<br>A4。不应进行阳极氧化的表面应在图纸上注明。<br>A5。3.5节中规定的要求不适用于<br>螺纹嵌件和定位销的孔。<br>除非另有说明,否则必须对所有此类孔进行遮盖或堵塞。<br>A6。<br>由于涂层形成的方式,硬质阳极涂层倾向于在尖角和边缘处形成空隙和裂纹。在<br>阳极氧化之前,所有边缘都应先倒圆角。除非产生尖锐的边缘,否则不得进行倒角<br>圆角的。<br>表A1总结了各种涂层厚度的建议最小曲率半径。
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关键腔室组件的硬膏涂层应具体说明如下<br>应用材料图纸:<br>A1.当被阳极化的组件没有盲孔,通过孔,螺纹<br>插入或钉针:<br>完成:每个应用材料规格硬阳极化<br>0250-39693到厚度0.00倍0.00英寸。所有尺寸<br>完成后申请。<br>A2.当要阳极化的组件至少有以下功能之一时:<br>盲孔,通过孔,螺纹插入和/或圆顶针:<br>完成:每个应用材料规格硬阳极化<br>0250-39693到厚度0.00倍0.00英寸。所有尺寸<br>完成后申请。全部通过/盲孔插入或<br>蒙面。安装螺纹插件和/或DOWEL引脚后<br>整理。<br>A3.默认硬性无定性涂层是DI水密封,除非其他w是指定在<br>图纸。<br>A4.不具有阳极化的表面应在图纸上注明。<br>A5.第 3.5 节中指定的要求不适用于孔<br>螺纹插入和圆顶引脚。掩盖或堵塞所有这些孔是<br>强制性的,除非其他w是e表示。<br>A6.硬膏涂层往往发展空隙和裂缝在尖锐的角落和<br>边缘由于涂层形成的方式。所有边缘应先半径<br>阳极化。除非由此产生的锐利边缘<br>半径。各种涂层曲率的推荐最小半径<br>厚度在表A1中总结。
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关键腔室部件的硬质阳极涂层应按以下规定进行:<br>应用材料图纸:<br>A1。待阳极化的组件无盲孔、通孔、螺纹时<br>插入件或定位销:<br>饰面:根据应用材料规范进行硬质阳极氧化<br>0250-39693至厚度0.00X±0.00Y英寸。所有尺寸<br>完成后涂抹。<br>A2。当待阳极化的组件至少具有以下特征之一时:<br>盲孔、通孔、螺纹嵌件和/或定位销:<br>饰面:根据应用材料规范进行硬质阳极氧化<br>0250-39693至厚度0.00X±0.00Y英寸。所有尺寸<br>完成后涂抹。通孔/盲孔堵塞或<br>蒙面的。安装后安装螺纹嵌件和/或定位销<br>完成。<br>A3。除非另有规定,否则默认硬阳极涂层为去离子水封<br>图画。<br>A4页。未经阳极氧化的表面应在图纸上标明。<br>第5条。第3.5节中规定的要求不适用于<br>螺纹插入件和定位销。屏蔽或堵塞所有此类孔是必要的<br>除非另有说明,否则必须填写。<br>答6。硬质阳极涂层容易在尖角和表面形成空洞和裂缝<br>由于涂层形成方式造成的边缘。所有边缘应在<br>阳极氧化。除非形成锐边,否则不得进行倒角<br>呈放射状。各种涂层的推荐最小曲率半径<br>厚度总结见表A1。<br>
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