In order to apply Giant Magneto-Res

In order to apply Giant Magneto-Resistive (GMR) elements to revolution sensors for automobiles, westudied an annealing effect upon GMR elements. After the GMR elements were annealed with the optimizedcondition, they showed sufficient temperature stability for automobile applications, as well as large MR ratio.The GMR elements were integrated with a sensing processing IC without any damage during the GMR waferprocess. Sensitive sensor properties were obtained, especially the repeatability was three times better thanthat of a semiconductor Hall revolution sensor, which was due to that the integration of the GMR elementwith IC prevented noise and the signal output of the GMR element was one order higher than that of thesemiconductor Hall revolution sensor.

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为了将巨磁阻 (GMR) 元件应用于汽车的转速传感器，我们 研究了对 GMR 元件的退火效应。GMR元件在优化 条件下退火后，表现出足够的汽车应用温度稳定性，以及大的MR比。 GMR 元件与传感处理 IC 集成在一起，在 GMR 晶圆 工艺期间没有任何损坏。获得了灵敏的传感器特性，特别是重复性比 半导体霍尔旋转传感器好三倍，这是由于 GMR 元件 与 IC的集成防止了噪声，并且 GMR 元件的信号输出比半导体霍尔旋转传感器高一个数量级。那个 半导体霍尔转速传感器。

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为了将巨磁阻（GMR）元件应用于汽车转速传感器，我们 研究了退火对巨磁电阻元件的影响。在GMR元件用优化的退火工艺进行退火后 在这种条件下，它们对汽车应用具有足够的温度稳定性，并且具有较大的MR比。 GMR元件与传感处理IC集成在一起，在GMR晶圆制造过程中没有任何损坏 过程获得了灵敏的传感器性能，尤其是重复性比常规传感器高三倍 这是由于集成了GMR元件 通过集成电路防止了噪声，GMR元件的信号输出比常规电路高一个数量级 半导体霍尔转速传感器。

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为了将巨磁阻元件应用于汽车旋转传感器，我们研究了退火对巨磁电阻元件的影响。在用优化的退火工艺退火巨磁电阻元件后在这些条件下，它们显示出足够汽车应用的温度稳定性，以及大的磁流变比。巨磁电阻元件与传感处理集成电路集成在一起，在巨磁电阻晶片期间没有任何损坏过程。获得了灵敏的传感器特性，特别是重复性比半导体霍尔旋转传感器，这是由于集成了巨磁电阻元件集成电路防止了噪声，巨磁电阻元件的信号输出比高一个数量级半导体霍尔旋转传感器。

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