The status of the inner cassette se

The status of the inner cassette sensor
changed while the Robot was
extending toward the cassette.
• The cassette was moved by the
Robot due to a cross-slotted wafer,
a warped cassette, or Robot-tocassette misalignment. An attempt
to conduct a pin search with an 8"
wafer on the paddle or entering a
pw (Put Wafer) command to a slot,
which is not empty, will also
displace the cassette(s)

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内盒传感器的状态 ，而机器人改变 朝向盒延伸。 •录像带是由移动 机器人由于交叉开槽晶片 翘曲盒或机器人与???盒错位。试图 进行与8"的销搜索 上的桨或进入晶片 PW（把晶片）命令的狭槽， 这是不空的，也将 置换盒（S）

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内部盒式传感器的状态 更改时，机器人 向盒式磁带延伸。 • 盒式磁带由 机器人由于交叉开槽的晶圆， 扭曲的盒式磁带，或机器人到盒式磁带的错位。尝试 使用 8* 进行引脚搜索 晶片上的晶圆或进入 pw（将晶圆）命令放到插槽中， 这是不空的，也将 取代盒式磁带

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内盒传感器的状态 当机器人 向磁带延伸。 •磁带被 机器人由于十字槽晶片， 翘曲的盒式磁带，或机器对盒式磁带的不对准。企图 使用8“进行PIN搜索 在桨上或进入 pw（放置晶圆）命令到插槽， 不是空的，也会 更换磁带

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