(a) Schematic diagram of PVD magnet

(a) Schematic diagram of PVD magnetron sputtering with coating layer 162 arrangement, and (b) Temperature vs. time graph profile of the annealing process for the as-163 sputtered Ag/AgTa2O5 thin film

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（a）具有涂层 162排列的PVD磁控溅射的示意图，以及（b） As-163溅射的Ag / AgTa2O5薄膜的退火工艺的温度与时间的曲线图

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（a）带涂层溅射的PVD磁控管溅射图的原理图 162 排列，和（b）温度与时间图剖面的退火过程 163 溅出 Ag/AgTa2O5 薄膜

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（a）涂层PVD磁控溅射原理图 162安排，和（b）as退火过程的温度-时间曲线图- 163溅射Ag/AgTa2O5薄膜

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