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Over the last few years, considerable effort has gone into the study of the failure mechanisms and reliability of micro-electromechanical systems (MEMS). Although still very incomplete, our knowledge of the reliability issues relevant to MEMS is growing. This paper provides an overview of MEMS failure mechanisms that are commonly encountered. It focuses on the reliability issues of micro-scale devices, but, for some issues, the field of their macroscopic counterparts is also briefly touched. The paper discusses generic structures used in MEMS, stiction, creep, fatigue, brittle fatigue in silicon, wear, dielectric charging, breakdown, contamination and packaging.

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在过去的几年中，相当大的努力已进入失效机理和微机电系统（MEMS）的可靠性研究。虽然还很不完整，我们的有关MEMS可靠性问题的认识也越来越大。本文提供了经常遭遇MEMS的失效机理的概述。它侧重于微观尺度器件的可靠性问题，但是，对于一些问题，他们的宏观同行的字段也短暂触及。本文讨论在MEMS，静摩擦，蠕变，疲劳，在硅脆疲劳，磨损，介质充电，击穿，污染和包装使用的通用结构。

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在过去几年中，在微机电系统（MEMS）故障机制和可靠性的研究方面，已经做了大量工作。尽管仍然非常不完整，但我们对MEMS相关可靠性问题的认识正在增长。本文概述了通常遇到的MEMS故障机制。它侧重于微尺度器件的可靠性问题，但对于一些问题，也简要地触及了其宏观对应器件的领域。本文讨论了MEMS中使用的通用结构，刺激，蠕变，疲劳，硅的脆疲劳，磨损，电介质充电，分解，污染和包装。

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近年来，人们对微机电系统（mems）的失效机理和可靠性进行了大量的研究。尽管还很不完善，我们对mems相关可靠性问题的了解正在增长。本文综述了微机电系统（mems）常见的失效机理。它关注的是微尺度器件的可靠性问题，但对于一些问题，也简要触及了宏观器件的可靠性领域。本文讨论了微机电系统（mems）中常用的结构、粘着、蠕变、疲劳、硅的脆性疲劳、磨损、介质充电、击穿、污染和封装。<br>

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