通过LAMMPS模拟得到不同磨粒粒径条件下，划痕过程中砷化镓材料表面形

通过LAMMPS模拟得到不同磨粒粒径条件下，划痕过程中砷化镓材料表面形貌图如图所示。

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Through LAMMPS simulation, the surface morphology of gallium arsenide material during the scratching process is shown in the figure under different abrasive particle size conditions.

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The surface profile of the gallium arsenide material is shown in the surface profile of the scratch process under the different grinding particle size conditions obtained by lamMPS simulation.

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The surface morphology of gallium arsenide during the scratch process is shown in the figure under different abrasive particle sizes by lammps simulation.<br>

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