在RVE过程中，硅片平放在聚四氟乙烯支架上。投入硅料与酸混合溶液中室温

在RVE过程中，硅片平放在聚四氟乙烯支架上。投入硅料与酸混合溶液中室温下反应产生气相，产生的气相与平放的金刚石切割多晶硅片发生制绒反应，反应 2 ~ 7min

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In the RVE process, the silicon wafer is placed flat on a PTFE support. Put the silicon material and the acid mixed solution into the reaction at room temperature to <BR>produce a gas phase, and the produced gas phase will react with the flat diamond-cut polycrystalline silicon wafer for texturing, and the reaction will take 2 to 7 <BR>minutes

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During rve, the silicon wafer was placed flat on the PTFE support. Put into the mixed solution of silicon material and acid to react at room temperature<BR>The gas phase is produced, and the generated gas phase reacts with the flat diamond cutting polysilicon wafer, and the reaction is 2 ~ 7<BR>Min

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