更换气盘后，连续16轮的在线数据显示，多晶表观正常，未出现残留颗粒的异

更换气盘后，连续16轮的在线数据显示，多晶表观正常，未出现残留颗粒的异常

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After replacing the air plate, 16 consecutive rounds of online data show that the polycrystalline appearance is normal and there is no abnormality of residual particles

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After the replacement of the air disk, 16 consecutive rounds of online data show that the polycrystalline surface is normal, there is no abnormality of residual particles.

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After the replacement of the gas disk, the on-line data of 16 consecutive rounds showed that the polycrystalline appearance was normal, and there was no abnormal residual particles

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