让真空室返回大气时，全量的供给压力(洁净空气/N2)一起导入室内会卷起微粒。为防止这个，初期给气慢慢导入，到设定压力后，切换主阀回路再全量供的日语翻译

让真空室返回大气时，全量的供给压力(洁净空气/N2)一起导入室内会卷起

让真空室返回大气时，全量的供给压力(洁净空气/N2)一起导入室内会卷起微粒。为防止这个，初期给气慢慢导入，到设定压力后，切换主阀回路再全量供给。
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真空チャンバーが大気に戻ると、完全な供給圧力（クリーンエア/ N2）が一緒にチャンバーに導入され、粒子が巻き上げられます。これを防ぐために、最初の空気供給をゆっくりと導入し、設定圧力に達した後、メインバルブ回路を切り替えて全量を供給します。
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真空チャンバを大気に戻すと、完全な供給圧力(クリーンエア/N2)が室内に一緒に取り込み、粒子がロールアップします。 これを防ぐために、初期供給ガスはゆっくりとインポートされ、圧力が設定された後、メインバルブ回路を切り替えて、完全な供給を行います。
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真空室を大気に戻す場合、全量の供給圧力（清浄空気/N 2）を室内に導入すると微粒子が発生します。これを防ぐために、初期にはガスを徐々に導入し、設定圧力に設定した後、メインバルブ回路を切り替えてフル供給します。
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