손동균팀장흄-제거를 위해 하기 내용 검토 부탁드릴게요.현재 레이져 슬리터, 흡착 패드는 이물에 대한 흡착, 보호이물 개선 효과는 있으나흄에 대한 제거는 위치상 어렵습니다.관련 레이져 재단 후 바로 흡착이 될 수 있도록 재 설치 가능한지 검토 부탁합니다.(또는 현재 레이져 후단 부 흡착기 에 대한 효율 향상 가능 여부 동시 검토 부탁할게요)-. 흄측정 방법(편광판 변부 잔류 현미경 확인)은 향후 검토 후 공유 드릴게요.(현장 Feed Back) 관련 설비 사용시, 소음이 심해, 사용에 어려움이 있습니다.관련 업체와 논의 후 개선 될 수 있도록 도움 부탁합니다.