其中，铝靶、铜靶用于导电层薄膜，钼靶用于阻挡层薄膜，ITO靶、AZO靶

其中，铝靶、铜靶用于导电层薄膜，钼靶用于阻挡层薄膜，ITO靶、AZO靶用于透明导电层薄膜。

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Among them, aluminum targets and copper targets are used for conductive layer films, molybdenum targets are used for barrier films, and ITO targets and AZO targets are used for transparent conductive layer films.

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Among them, aluminum target and copper target are used for conductive layer film, molybdenum target is used for barrier layer film, ITO target and azo target are used for transparent conductive layer film.

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Among them, aluminum targets and copper targets are used for conductive layer films, molybdenum targets are used for barrier layer films, ITO targets and AZO targets are used for transparent conductive layer films.

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