2.GMR回転センサ車載用回転センサは,エンジンやトランスミッションの動作を歯車の回転として検出する。当社は,GMR素子の適用によって,車載用回転センサの高精度・高信頼性を実現した。また,アイドルストップシステムに好適なPWM出力方式逆回転検出GMR回転センサを開発し,2012年に製品化した。2. 1 構造と検出方式図1 はGMR回転センサの内部構成である。センサの先端部にGMR素子と磁石があり磁気回路を構成する。IC(Integrated Circuit) は過電圧・サージ保護用及びEMC(Electoro Magnetic Compatibility)用チップ部品とともにパッケージ化しており,これらを樹脂で一体成形している。図2 はGMR素子の特性曲線(MR(Magneto Resistance)カーブ)である。センサ内蔵の磁石によってGMR素子にはバイアス磁界が与えられている。歯車の回転によって歯が近づくと素子に印加される磁界が大きくなり,素子の電気抵抗が小さくなる。GMR素子はGMR膜をパターニングしたものである。GMR膜は数nmの厚さの磁性層と非磁性層を積層した多層膜で,磁性層/非磁性層界面での電子の散乱確率が磁性層