对于GaAs在不同磨粒粒径的划擦过程中，在磨粒粒径为5nm时，摩擦系数

对于GaAs在不同磨粒粒径的划擦过程中，在磨粒粒径为5nm时，摩擦系数接近0.45，并随着磨粒粒径的增大，摩擦系数是不断变小的，并且下降趋势逐渐变小。

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For the scratching process of GaAs in different abrasive particle sizes, when the abrasive particle size is 5nm, the friction coefficient is close to 0.45, and with the increase of the abrasive particle size, the friction coefficient is continuously becoming smaller and decreasing Gradually become smaller.

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For GaAs in the grinding process of different grinding particle size, the coefficient of friction is close to 0.45 when the grinding particle size is 5nm. And with the increase of the particle size, the coefficient of friction is constantly smaller, and the downward trend gradually becomes smaller.

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For GaAs, the friction coefficient is close to 0.45 when the particle size is 5nm, With the increase of the particle size, the friction coefficient becomes smaller and smaller.

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