도 7은 실시예에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 제어 방법을 나

도 7은 실시예에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 제어 방법을 나타내는 순서도이다. [0055]도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 제어 방법은 단결정 잉곳의 길이를 설정 [0056]하는 단계(S10), 단결정 잉곳의 길이에 따른 목표 직경, 목표 인상 속도, 목표 온도를 설정하는 단계(S20), 목표 직경과 실제 직경을 비교 연산하여 보정 인상 속도를 생성하고 인상 속도를 제어하는 단계(S30), 평균 인상속도를 목표 인상 속도로 보정해 주는 단계(S40), 평균 인상 속도와 목표 인상 속도를 비교하여 보상 신호를 생성하는 단계(S50), 보상 신호와 목표 온도 및 실제 온도를 비교 연산하여 보상 온도를 생성하고 제어하는 단계(S60)를 포함한다.단결정 잉곳을 성장시키는 공정을 시작하면, 단결정 잉곳의 길이를 설정하는 단계(S10)에서는 잉곳 길이 설정부 [0057]에 의해 단결정 잉곳의 길이를 설정해 준다.그리고, 단결정 잉곳의 길이에 따른 목표 직경, 목표 인상 속도, 목표 온도를 설정하는 단계(S20)에서는 목표치 [0058]설정부가 단결정 잉곳을 제조하는 공정 중에 단결정 잉곳의 품질을 좌우하는 요인들의 목표치를 설정해 준다.여기서, 목표치 설정부는 목표 직경 설정부, 목표 인상 속도 설정부, 목표 온도 설정부를 포함하며, 잉곳 길이설정부에 의해 성장하고자 하는 잉곳의 길이가 설정되면, 단결정 잉곳의 길이에 따라 목표 직경, 목표 인상 속도, 목표 온도를 설정해 줄 수 있다.또한, 단결정 잉곳의 길이에 따른 목표 직경, 목표 인상 속도, 목표 온도를 설정하는 단계(S20)에서는 목표 인 [0059]상 속도의 상한치와 하한치를 더 설정해 줄 수 있다.