然后从划擦过程后，砷化镓表面的划痕宽度、深度、隆起量、所受法向力以及平

然后从划擦过程后，砷化镓表面的划痕宽度、深度、隆起量、所受法向力以及平均摩擦系数的变化，来进行划痕特征的分析。

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Then after the scratching process, the scratch width, depth, bulge, normal force and average friction coefficient of the surface of gallium arsenide are analyzed to analyze the scratch characteristics.

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Then, from the scratch process, the scratch width, depth, bulge, force and average coefficient of friction of the surface of gallium arsenide are analyzed.

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Then the scratch characteristics are analyzed from scratch width, depth, bulge, normal force and average friction coefficient.<br>

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