본 발명은 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 DC 스퍼터링이 가능하며 상기 스퍼터링타겟으로부터 성막된的简体中文翻译

본 발명은 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하

본 발명은 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 DC 스퍼터링이 가능하며 상기 스퍼터링타겟으로부터 성막된 박막은 전자 이동도가 우수하고 박막평탄도가 우수한 특성을 나타내는 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것이다.
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本发明涉及基于氧化锌的溅射靶，更具体地，可以进行DC溅射，并且由该溅射靶形成的薄膜具有优异的电子迁移率和优异的薄膜平坦度。将会。
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本发明涉及一种氧化亚联溅射靶，更详细地涉及一种氧化亚联溅射靶，该靶点具有优良的电子运动性，并且具有优良的薄膜平整度。
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本发明是关于氧化锌系的推杆目标，更详细的是可以进行DC推杆，从上述的推杆目标中成功的薄膜是电子移动度优秀，薄膜平坦度优秀的特性的氧化锌系的推杆目标。<br>
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