アルミニウムの融点は６６０℃であり、１３００℃付近では蒸気圧を非常に大

アルミニウムの融点は６６０℃であり、１３００℃付近では蒸気圧を非常に大きくすることができる。溶融したアルミニウムは図２中の５である。図示しない温度センサーにより、溶融アルミニウムの温度を測り、１３００℃で定温保持となるように設定した。結果として成膜対象３にはアルミニウムの膜が十分な速度で形成でき、また、形成された膜からはアルミニウム以外の成分は検出されなかった。

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铝的熔点为660°C，并且在1300°C附近可以大大提高蒸汽压力。熔融铝在图1中为5。铝熔体的温度由温度传感器（未显示）测量，并设置为保持1300°C的恒定温度。结果，可以以足够的速度在成膜对象3上形成铝膜，并且从形成的膜中没有检测到除铝以外的成分。

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铝的熔点为660°C，在1300°C附近可以非常增加蒸汽压力。熔融铝是图 2 中的 5。温度传感器（未显示）测量熔融铝的温度，并设置为在 1300°C 下保持恒定温度。因此，在沉积目标3中可以以足够快的速度形成铝膜，并且未从形成的膜中检测到铝以外的组分。

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铝的熔点为660℃，在1300℃附近可以使蒸汽压力非常大。熔融的铝是图2中的5。通过未图示的温度传感器测量熔融铝的温度，设定为在1300℃保持恒温。结果，可以以足够的速度在成膜对象3上形成铝膜，并且，在形成的膜中没有检测到铝以外的成分。<br>

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