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The ultra-precision positioning sys
The ultra-precision positioning system is one of the key components in the precision instrument. There is a lot of scope for research in ultra-precision positioning such as drilling machine, diamond cutting, wing flap control in aircraft etc.Hence there is an increase in the demand for machine tools that support the accuracy of sub-micron order. Industries demand for high productivity rates and require fast production machines which can produce, assemble, or manipulate parts at greater speeds and higher accuracy. Therefore for such applications different actuators are used [1-2].
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超精密定位系统是在精密仪器的关键部件之一。有用于定位研究超精密大量的范围，如钻孔机，钻石切割，在飞机等襟翼控制<br>因此有增加用于支持亚微米级的精度机床的需求。工业高生产率的需求，需要能生产，组装，或操纵以更快的速度和更高的精度零件快速生产机器。因此，对于这样的应用不同的致动器用于[1-2]。
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超精密定位系统是精密仪器的关键部件之一。在超精密定位方面，如钻孔机、金刚石切割、飞机翼翼控制等，研究余地很大。<br>因此，对支持亚微米订单精度的机床的需求有所增加。行业要求高生产率，需要快速生产机器，这些机器能够以更高的速度和更高的精度生产、组装或操作零件。因此，对于此类应用，使用不同的执行器 [1-2]。
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超精密定位系统是精密仪器的关键部件之一。在超精密定位领域，如钻床、金刚石切削、飞机襟翼控制等有着广阔的研究空间。<br>因此，对支持亚微米级精度的机床的需求也在增加。工业需要高生产率，并且需要快速生产的机器，这些机器能够以更快的速度和更高的精度生产、组装或操作零件。因此，对于此类应用，使用不同的执行机构[1-2]。
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