process (this shortcoming is eviden

process (this shortcoming is evident especially in the case of surface micromachining, which in fact is semi-three-dimensional,27 yet is dominant among commercial triaxial MEMS accelerometers, due to its low production costs).

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这种方法的缺点（这一缺点在表面微加工的情况下尤其明显，实际上是半三维的[27]，但由于其较低的生产成本而在商用三轴MEMS加速度计中占主导地位）。

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工艺（这种缺陷是显而易见的，特别是在表面微加工的情况下，它实际上是半三维的，27，但由于其较低的生产成本，在商业三轴MEMS加速度计中占主导地位）。

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工艺（这一缺点在表面微加工的情况下尤其明显，表面微加工实际上是半三维的，但由于其生产成本低，在商用三轴MEMS加速度计中占主导地位）。<br>

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