根据产生腐蚀气体方式的不同可分为反应法气相刻蚀和热蒸法气象刻蚀，反应装

根据产生腐蚀气体方式的不同可分为反应法气相刻蚀和热蒸法气象刻蚀，反应装置如图8所示

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According to the different methods of generating corrosive gas, it can be divided into reactive gas phase etching and thermal steaming meteorological etching. The reaction device is shown in Figure 8.

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According to the different ways of producing corrosive gases can be divided into reaction gas phase etching and thermal steaming meteorological etching, the reaction device is shown in Figure 8.

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According to the different ways of producing corrosive gas, it can be divided into reactive vapor etching and thermal vapor etching. The reaction device is shown in Fig. 8

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