The low vacuum pressure by the back

The low vacuum pressure by the backing pump was reached about 1 Torr before and after the sample plate insertion by differential pumping. The sample plate loading time related to the pumping speed of the backing pump was < 40 sec. Figure 9 also showed that the high vacuum pressure was 4.5x10-6 Torr after the sample plate insertion indicating that the differential pumping of MicroIDSys properly works by the implemented vacuum system. The backing pump satisfied the require criteria for MicroIDSys as shown below.

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在通过差动泵插入样品板之前和之后，由后级泵施加的低真空压力达到约1托。与后备泵的抽速相关的样品板加载时间<40秒。图9还显示，在插入样品板后，高真空压力为4.5x10-6 Torr，这表明MicroIDSys的差动泵送可通过已实现的真空系统正常工作。辅助泵满足MicroIDSys的要求标准，如下所示。

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通过差分泵插入样品板之前和之后，背泵的低真空压力达到约 1 Torr。与背油泵泵送速度相关的样品板装载时间是 +40 秒。图 9 还显示，样品板插入后，高真空压力为 4.5x10-6 Torr，表明 MicroIDSys 的差速泵泵由已实施的真空系统正常工作。背泵满足 MicroIDSys 要求的标准，如下所示。

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通过差分泵插入样品板前后，背泵的低真空压力达到约1 Torr。样品板加载时间与备用泵的泵送速度有关

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