Schematic cross-sectional views of

Schematic cross-sectional views of four different ways to define narrow 2DEG channels in a GaAs-AlGaAs heterostructure. Positive ionized donors and negative charges on a Schottky gate electrode are indicated. The hatched squares in d represent unremoved resist used as a gate dielectric.

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的四种不同方式的示意性横截面视图，以在GaAs的异质结构的AlGaAs限定窄2DEG通道。正离子化上的肖特基栅极电极供体和负电荷被指示。在d阴影正方形表示未去除的抗蚀剂用作栅极电介质。

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在 GaAs-AlGaAs 异构结构中定义窄 2DEG 通道的四种不同方法的架构横截面视图。指示肖特基栅极上的正电对捐赠者和负电荷。d 中阴影的方块表示用作栅极电的未移除电阻。

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GaAs-AlGaAs异质结构中定义窄2DEG沟道的四种不同方法的截面示意图。指出了肖特基栅电极上的正离子供体和负电荷。d中的阴影方块表示用作栅极电介质的未移动的电阻。

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