Pulsed laser deposition (PLD) of Mo

Pulsed laser deposition (PLD) of MoO 3 thin films and their gas sensing properties are reported. As-deposited films were found to be a mixture of sub-oxides. Post-annealing of the films in air at 773K for 5h transforms the sub-oxides to MoO 3 with diminished intensities of (0 k 0) reflections. The microstructure of the films were investigated by scanning electron microscopy and atomic force microscopy (AFM). Sensors made of thin films (∼1μm) of MoO 3 deposited at 673K followed by post-annealing in air at 773K exhibit a high selectivity for ammonia in the temperature range of 508–555K with fast response (∼15s) and retrace times (∼300s).

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报道了MoO 3薄膜的脉冲激光沉积（PLD）及其气敏特性。发现沉积的薄膜是低价氧化物的混合物。薄膜在773K的空气中进行5h后退火，将亚氧化物转变为MoO 3，其反射强度降低（0 k 0）。通过扫描电子显微镜和原子力显微镜（AFM）研究了薄膜的微观结构。由在673K沉积的MoO 3薄膜（约1μm），然后在773K的空气中进行后退火制成的传感器在508-555K的温度范围内具有对氨的高选择性，并具有快速响应（〜15s）和回扫时间（〜 300s）。

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报道了MoO 3薄膜的脉冲激光沉积（PLD）及其气体传感特性。作为沉积的薄膜被发现是亚氧化物的混合物。在 773K 时，在空气中对薄膜进行 5h 的退火后，将亚氧化物转换为 MoO 3，同时减少反射强度（0 k 0）。通过扫描电子显微镜和原子力显微镜（AFM）对薄膜的微观结构进行了研究。由 MoO 3 薄膜（±1μm）制成的传感器沉积在 673K 处，随后在 773K 时在空气中进行退火后，在 508~555K 的温度范围内，氨具有高选择性，响应速度快（±15s）和回溯时间（300s）。

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报道了脉冲激光沉积MoO 3薄膜及其气敏特性。沉积的薄膜是亚氧化物的混合物。773K空气中退火5h后，亚氧化物转变为MoO 3，反射强度降低（0 k 0）。用扫描电镜和原子力显微镜（AFM）研究了薄膜的微观结构。由673K沉积的MoO 3薄膜（∼1μm）经773K空气后退火制成的传感器，在508-555K的温度范围内对氨有很高的选择性，响应快（∼15s），回溯时间（∼300s）。<br>

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