Experiments on in situ chemical etching of strained-Si films with gase的简体中文翻译

Experiments on in situ chemical etc

Experiments on in situ chemical etching of strained-Si films with gaseous HCl in a commercial CVD reactor are reported. After growth of a virtual Si1xGex substrate and the deposition of a strained Si cap layer HCl is applied at 800 1C. A pronounced dependence of the average etch rate on the strain of the Si cap layer is observed. Furthermore, the etch process is sensitive to crystal defects, leading to etch pits at the site of threading dislocations. This kind of defect etching allows to characterize the number and distribution of threading dislocations on the whole wafer area (e.g. 200 mm) without additional equipment costs. r 2004 Elsevier Ltd. All rights reserved.
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报告于原位化学在商业CVD反应器应变硅膜与气体HCl的蚀刻上的实验。虚拟的Si1?xGex衬底的生长和HCl在800 1C施加的应变硅帽层的沉积之后。明显的在Si覆盖层的应变的平均蚀刻速率的依赖性观测到。此外,所述蚀刻工艺是晶体缺陷敏感,导致蚀刻坑在穿透位错的位点。这种缺陷蚀刻允许无需额外的设备成本来表征的数量和对整个晶片区域(例如200mm)上穿透位错的分布。保留R 2004年爱思唯尔有限公司保留所有权利。
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报道了在商用CVD反应器中用气态HCl对张力-S膜进行原位化学蚀刻的实验。在虚拟 SixGex 基板生长后,在 800 1C 下应用张力的 Si 盖层 HCl 的沉积。观察到平均蚀刻速率对 Si 帽层应变的明显依赖性。此外,蚀刻过程对晶体缺陷敏感,导致螺纹错位部位的蚀刻坑。这种缺陷蚀刻可以描述整个晶圆区域(例如 200 mm)上螺纹错位的数量和分布,而无需额外的设备成本。r 2004 埃尔塞维尔有限公司保留所有权利。
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报道了在工业CVD反应器中用HCl气体原位化学腐蚀应变Si薄膜的实验。在800 1C下生长了一个虚拟Si1xGex衬底并沉积了一个应变的Si cap层HCl后,观察到平均刻蚀速率与sicap层应变的显著关系。此外,刻蚀过程对晶体缺陷敏感,导致螺纹位错处出现刻蚀坑。这种缺陷蚀刻可以在不增加设备成本的情况下,表征整个晶圆区域(例如200 mm)上螺纹位错的数量和分布。r 2004爱思唯尔有限公司保留所有权利。<br>
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