外側管底部に光放出面を有し、紫外線を透過する誘電材料を溶融変形することで成形された有底筒状の外側管と、内側管底部が前記外側管底部に接触しないように前記外側管の内側に配置され、紫外線を透過する誘電材料を溶融変形することで成形された有底筒状の内側管とからなり、前記外側管と前記内側管との間に密閉空間を形成する発光管と、前記外側管の前記光放出面以外の外表面の少なくとも一部に設けて、紫外線を反射する外側電極と、前記内側管を溶着して前記密閉空間に露出せずに埋設された箔状の内側電極とを備え、前記外側管の外径Rは、5(mm)以上かつ20(mm)以下とし、前記外側管底部と前記外側管底部に対向する被照射面とのランプ軸方向距離Lは、7(mm)以上かつ15(mm)以下としたとき、前記外側電極と前記内側電極がランプ径方向に対向する密閉空間のランプ軸方向長さA(mm)は、前記内側電極の内側管底部側端部から前記被照射面までのランプ軸方向長さB(mm)に対して、下記の条件式の範囲にあるエキシマランプにおいて、前記密閉空間内で生じた紫外線は、前記外側電極の内表面の反射によってランプ軸方向に誘導され、前記外側管を構成する誘電材料内部を透過するファイバー効果によって前記外側管底部までランプ軸方向に誘導され、および前記内側管を構成する誘電材料内部を透過するファイバー効果によって前記内側管底部までランプ軸方向に誘導され、前記光放出面から前記発光管のランプ軸方向側外部に放出することを特徴とするエキシマランプ。B/1.07≦A≦B/0.11