본 발명은 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 DC 스퍼터링이 가능하며 상기 스퍼터링타겟으로부터 성막된的简体中文翻译

본 발명은 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하

본 발명은 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 DC 스퍼터링이 가능하며 상기 스퍼터링타겟으로부터 성막된 박막은 전자 이동도가 우수하고 박막평탄도가 우수한 특성을 나타내는 산화아연계 스퍼터링 타겟에 관한 것이다.
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氧化锌技术领域本发明涉及将溅射靶材，更具体地是由溅射<br>锌溅射氧化物连接的直流溅射体，该溅射锌溅射氧化物是电子迁移率优异，薄膜平坦度优异的薄膜<br>，且环状靶材中的靶材的成膜特性优异。关于。
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本发明涉及一个氧化亚联溅射靶点，更详细地是直流溅射，溅射<br>从目标处的薄膜是氧化亚联溅射器，具有良好的电子移动和薄膜平坦度<br>关于环目标。
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本发明是关于氧化锌系推杆目标的，更详细的是DC推杆，上述推杆<br>由目标构成的薄膜，电子移动度优秀，薄膜平坦度优秀的氧化锌系推杆<br>是有关吊环目标的。
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