Wafer Alignment- First Die Integrit

Wafer Alignment- First Die IntegrityUses predefined wafer level unique structure for global wafer positioningAdd the patterns only after Die MappingIn case of small dice, used to overcome row or column inaccuracy (first die)Framed wafers with shifted diceIn case where there is no unique structure in wafer level(test die, corner, etc.use the notch I flat for first die integrityIn stretched wafer it is different-you need to add WLUP close one to the other.Scan DiamDie Index x(mm)AddDelete Unique patternPrior to wafer alignment the ME AOISelect 2-3 unique patternssystems check and fix handling inaccuracyfor first die integrityTD4M11700

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晶圆对准-第一芯片完整性 使用预定义的晶圆级独特结构进行全局晶圆定位 只有在芯片映射后才添加图案 如果小芯片，用于克服行或列的不准确性（第一芯片） 带有偏移芯片的带框晶圆 如果存在晶圆级没有独特的结构（测试模具，角部等）。使用凹口I平面来确保第一个模具的完整性 在拉伸晶圆中，它有所不同-您需要在彼此之间添加WLUP。Scan DiamDie Index x（mm） 添加删除唯一的图案 在晶圆对准之前，ME AOI Select 2-3个唯一的图案系统会检查并修复第一个管芯完整性的处理错误 TD4M11700

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晶圆对齐 - 第一模具完整性 使用预定义的晶圆级独特结构进行全球晶圆定位 仅在模具映射后添加图案 在小骰子的情况下，用于克服行或列不准确（第一次模具） 带移位骰子的框架晶圆 在晶圆水平没有独特结构的情况下（测试模具、角等）使用缺口 I 平进行第一片模具完整性 在拉伸晶圆中，它是不同的-您需要添加WLUP接近另一个。 扫描迪亚姆迪索引 x（毫米） 添加=删除唯一模式 在晶圆对齐之前，ME AOI 选择 2-3 个独特的模式系统检查和修复处理不准确的第一个模具完整性 TD4M11700

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晶圆对准-第一个模具完整性 使用预定义的晶圆级独特结构进行全球晶圆定位 仅在模具映射后添加图案 在小骰子的情况下，用于克服行或列的不准确（第一个骰子） 镶框晶圆和移位骰子 如果晶圆级没有独特的结构（测试模具、拐角、，等用途第一个模具完整性的凹口I平坦 在拉伸晶圆是不同的，你需要加上一个接近另一个。 扫描直径指数x（mm） 添加/删除唯一图案 晶圆对准前，ME AOI 选择2-3个独特的模式系统检查和修复处理不准确的第一个模具完整性 TD4M11700

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