В исследовании синтеза кристаллов карбонитрида по сравнению с другими методами синтеза физические или химические методы осаждения из паровой фазы достигли лучших результатов исследований. Путем введения высокоактивного азота, атомов углерода или ионов в реакционную систему пленка нитрида углерода осаждается на подложке.