The main performance index has been

The main performance index has been broken down further to the level of individual control axes, e.g., test mass motion that would enter via the “"stiffness" in the system，commanded forces and torques that would enter via the actuation crosstalk in the electrostatic actuation system.

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主要性能指标已进一步细分为各个控制轴的水平，例如，通过系统中的“刚度”进入的测试质量运动，在静电促动中通过促动串扰进入的指令力和转矩系统。

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主要性能指标已进一步细分为单个控制轴的水平，例如，测试通过系统中的"刚度"进入的质量运动，通过静电驱动系统中的驱动相声进入的命令力和扭矩。

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主要性能指标已进一步细分为各个控制轴的水平，例如，通过系统中的“刚度”进入的测试质量运动，通过静电驱动系统中的驱动串扰进入的指令力和扭矩。<br>

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