The residual gas analysis portion o

测试系统的残留气体分析部分利用两种不同的质谱仪：能够在较宽的质量范围内扫描气体总丰度的四极质谱仪，以及专门调节至质量为4 amu的氦气泄漏检测器，该氦气泄漏检测器可测量4氦。四极质谱仪是Pfeiffer HiQuadTM，用于分析质量范围为1至340 amu的中性粒子。扫描速度为0.125毫秒至60 s / amu，典型地，一组气体（10种）的整个扫描时间约为1-2 s。<br>质量过滤器利用16 mm的钼棒获得最大的选择性，带有钨丝的束流离子源在动态测量过程中获得最大的灵敏度。聚焦倍增极电子倍增器用作检测器，可在10-15至10-6 mbar的压力范围内实现最大线性度。此仪器配置的最小分压检测极限为1×10-15 mbar。

The residual gas analysis portion of the test system utilizes two different mass spectrometers: a quadrupole mass spectrometer capable of scanning the total abundance of gas over a broad mass range and a helium leak detector specifically tuned to mass 4 amu, which measures the flow rate of helium. The quadrupole mass spectrometer is a Pfeiffer HiQuadTM for analysis of neutral particles with a mass range from 1 to 340 amu. The scan speed is 0.125 ms to 60 s/amu, typically full scan time for a suite of gases (10 species) is on the order of 1–2 s.<br> The mass filter utilizes 16 mm molybdenum rods for maximum selectivity, with a cross-beam ion source with tungsten filament for maximum sensitivity during dynamic measurements. A focusing dynode electron multiplier was used as the detector for maximum linearity over pressure ranges from 10−15 to 10−6 mbar.The minimum partial pressure detection limit for this instrumental configuration is 1×10−15 mbar.

测试系统的残余气体分析部分使用了两种不同的质谱仪：一种四极质谱仪，能够在宽质量范围内扫描气体的总丰度；另一种氦检漏仪，专门调谐到质量4 amu，用于测量氦的流速。四极质谱仪是一种用于分析中性粒子的Pfeiffer-HiQuadTM，其质量范围为1-340amu。扫描速度为0.125 ms至60 s/amu，通常一组气体（10种）的全扫描时间约为1-2 s。<br>质量过滤器利用16毫米钼棒实现最大的选择性，使用带有钨丝的横梁离子源实现动态测量期间的最大灵敏度。采用聚焦倍频电子倍增器作为最大线性超压范围（10-15～10-6mbar）的检测器，该仪器结构的最小分压检测限为1×10-15mbar。<br>