図３に示すように、得られた蒸発用モリブデンるつぼを高周波誘導加熱式の蒸

図３に示すように、得られた蒸発用モリブデンるつぼを高周波誘導加熱式の蒸発用炉１０にるつぼの広がった側を上にして設置した。この蒸発用炉は減圧及び真空雰囲気とするための真空ポンプ２を備えており、金属蒸発用モリブデンるつぼの上部には、蒸発した金属や合金によって被膜を形成する成膜対象３を備えている。高周波誘導はコイル４にて行なう。

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如图3所示，将得到的蒸发用钼以锅的加宽侧朝上的方式设置在高频感应加热式蒸发炉10中。该蒸发炉设置有用于降低压力并产生真空气氛的真空泵2，并且在用于金属蒸发的钼罐上方设置有用于与蒸发的金属或合金形成膜的成膜靶3。线圈4进行高频感应。

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如图3所示，将所得的蒸发氧化铝熔炉安装在高频感应加热蒸发炉10的熔炉的扩展侧。蒸发炉包括真空泵2，用于减压和真空气氛，金属蒸发氧化铝熔炉的顶部包括沉积目标3，由蒸发的金属或合金形成涂层。高频感应在线圈 4 中执行。

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如图3所示，将得到的蒸发用钼罐设置在高频感应加热式蒸发用炉10中的扩大罐子一侧的上方。该蒸发炉具有用于减压和真空气氛的真空泵2，在金属蒸发用钼罐的上部具备通过蒸发的金属或合金形成涂层的成膜对象3。高频感应由线圈4进行。<br>

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