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SiN膜厚管理に対する今回の対策として、SPC管理対象とし、WEルール
SiN膜厚管理に対する今回の対策として、SPC管理対象とし、WEルールのうち2ルール(①上下管理値はずれ、⑤3点中2点が2σはずれ)を管理項目としています。
SiN膜厚管理に対する今回の対策として、SPC管理対象とし、WEルールのうち2ルール(①上下管理値はずれ、⑤3点中2点が2σはずれ)を管理項目としています。
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作为当前措施对付SiN膜厚度控制,和SPC管理,的WE规则2条规则(①上下控制值时,在⑤3点的两个点2σ出)需要管理的项目。
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作为SiN薄膜厚度管理的对策,SPC 管理,WE 规则中的两个规则((1) 上下管理值偏移,(5) 三个点中的两个点偏移 2 Ω)作为管理项目。
正在翻译中..
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作为对SiN膜厚管理的此次的对策,作为SPC管理对象,把WE规则中的2规则(①上下管理值偏离,⑤3点中2点偏离2σ)作为管理项目。<br>
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