MEMS pressure sensors, temperatures

MEMS pressure sensors, temperaturesensors, humidity sensors, and various capacitive sensors forproximity, position, velocity, acceleration, and vibration measurements have been integrated to wireless sensor nodes [7].

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MEMS压力传感器，温度 传感器，湿度传感器以及用于 接近度，位置，速度，加速度和振动测量的各种电容式传感器已集成到无线传感器节点[7]。

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MEMS 压力传感器，温度 传感器、湿度传感器和各种电容式传感器 距离、位置、速度、加速度和振动测量已集成到无线传感器节点 [7] 中。

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MEMS压力传感器，温度 传感器、湿度传感器和各种电容传感器 接近度、位置、速度、加速度和振动测量已集成到无线传感器节点[7]。

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