Sorry for a bit late reply, was ful

Sorry for a bit late reply, was fully charged last days with a flux clean tool issue at ATKL (Arik product lots on hold and production down). Looking to the differentiated AES spectra, the identification looks ok to me and believe the Cl is detected indeed. Have no AES history of Cl presence on Cu matrix, we normally do AES BP characterization on the Al and Cl should not be there (and only seldom detected). But that is for Al matrix. From TOF-SIMS however, we often see Cl in conjunction with Cu, but the detected Cl is hard to quantify and you need to keep in mind TOF-SIMS is over 1000x more sensitive. On itself I am not surprised to see Cl traces at the Cu.

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抱歉，回复太晚了，最後幾天在ATKL充斥著焊劑清潔工具問題（Arik產品批次處於停產和停產狀態）。觀察微分的AES光譜，對我來說鑑定可以，並相信確實檢測到了Cl。Cu基體上沒有AES的Cl存在歷史，我們通常在Al上進行AES BP表徵，而Cl不應存在（而且很少檢測到）。但這是針對Al基體的。但是，在TOF-SIMS中，我們經常看到Cl與Cu結合在一起，但是檢測到的Cl很難量化，因此需要記住，TOF-SIMS的靈敏度要高出1000倍以上。就其本身而言，我對在銅上看到Cl痕跡並不感到驚訝。

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對不起，有點晚的答覆，是充滿充電的最後幾天在ATKL（阿裡克產品批次暫停和生產下降）的通量清潔工具問題。查看差異化的 AES 光譜，我看起來還可以識別，並相信 Cl 確實被檢測到。在Cu矩陣上沒有Cl存在的AES歷史，我們通常在Al和Cl上做AES BP描述不應該在那裡（而且很少檢測到）。但這是為阿爾矩陣。然而，從 TOF-SIMS 中，我們經常看到 Cl 與 Cu 結合，但檢測到的 Cl 很難量化，您需要記住 TOF-SIMS 的敏感度超過 1000 倍。就我本身並不感到驚訝，看到Cl的痕跡在Cu。

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抱歉，有點遲的答覆，是完全負責與通量清潔工具問題在ATKL（阿裏克產品批量暫停和生產下降）的最後幾天。從區分的AES光譜來看，我認為鑒定是正確的，而且確實檢測到了Cl。由於銅基體上沒有Cl存在的AES歷史，我們通常對Al進行AES-BP表徵，而Cl不應該存在（而且很少檢測到）。但這是鋁矩陣。然而，從TOF-SIMS中，我們經常看到Cl與Cu結合，但檢測到的Cl很難定量，您需要記住TOF-SIMS的靈敏度超過1000倍。就其本身而言，我並不驚訝地看到在銅氯痕迹。<br>

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