A method for full-field surface pro

先前已经描述了在串联扫描共聚焦显微镜中进行全视野表面轮廓分析的方法。该技术利用色差来产生扩展的和彩色编码的焦距。在该体积内，在不同轴向深度处的平面对应于通过故意异常系统的不同波长的焦点。为了确定视野内任何点的高度，共聚焦检测系统必须能够识别该点反射最强烈的光的波长。因此，探测器的相对灵敏度和成像系统的光谱响应是重要的参数。我们利用了氙气和汞弧源，并将结果与​​各种类型的物镜进行了比较。这种显微镜的一个潜在局限性是这样一个事实，即纵向色差的引入会影响平面成像光学系统的校正，即引入球差，但该技术快速且产生的结果与更常规的技术紧密相关。为了对使用彩色3-D探头进行表面成像的详细研究，我们设计并制造了一种台扫描设备，该设备使用了轴上光学器件，因此没有球差，可以进行最佳校正。描述了该仪器，并给出了单程3-D成像的结果。为了对使用彩色3-D探头进行表面成像的详细研究，我们设计并制造了一种台扫描设备，该设备使用了轴上光学器件，因此没有球差，可以进行最佳校正。描述了该仪器，并给出了单程3-D成像的结果。为了对使用彩色3-D探头进行表面成像的详细研究，我们设计并制造了一种台扫描设备，该设备使用了轴上光学器件，因此没有球差，可以进行最佳校正。描述了该仪器，并给出了单程3-D成像的结果。

前面介绍了串联扫描共声显微镜中全场表面剖析的方法。该技术利用色差产生扩展和彩色编码焦体积。此体积内不同轴向深度的平面通过有意的异常系统对应于不同波长的点。要确定场内任何点的高度，共和探测系统必须能够识别从该点最强烈反射的光的波长。因此，探测器的相对灵敏度和成像系统的光谱响应是重要的参数。我们利用了Xenon和汞弧源，并与各种类型的客观透镜比较了结果。这种显微镜的一个潜在局限性是，纵向色差的引入会影响平面成像光学器件的校正，即引入球形畸变，但该技术速度很快，产生的结果与更传统的技术密切相关。为了详细研究色度三-D探头在表面成像中的使用，我们设计并构建了一个舞台扫描仪器，该仪器使用轴上光学器件，因此没有球面畸变，可以进行最佳校正。该仪器被描述，并呈现单路三-D成像的结果。

A method for full-field surface profiling in the tandem scanning confocal microscope has been previously described. The technique utilizes chromatic aberration to produce an extended and color coded focal volume. Planes at different axial depths within this volume correspond to the foci of different wavelengths through the intentionally aberrant system. To determine the height of any point within the field, the confocal detection system must be capable of identifying the wavelength of the most intensely reflected light from that point. Hence the relative sensitivity of the detector and the spectral response of the imaging system are important parameters. We have utilized xenon and mercury arc sources and compared results with various types of objective lens. One potential limitation of this microscope is the fact that the introduction of longitudinal chromatic aberration affects the correction of the optics for plan imaging, i.e., introduces spherical aberrations, but the technique is rapid and produces results well correlated with more conventional techniques. To allow detailed study of the use of a chromatic 3-D probe for surface imaging we have designed and constructed a stage- scanned instrument which uses on-axis optics and is therefore free from spherical aberrations and can be corrected optimally. The instrument is described and results presented for single pass 3-D imaging.<br>