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本文所提出的TM pass起偏器是在具有2um厚的SiO2缓冲层的SO
本文所提出的TM pass起偏器是在具有2um厚的SiO2缓冲层的SOI晶片上制造的。
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The TM pass polarizer proposed in this article is manufactured on SOI chips with a 2um thick SiO2 buffer layer.
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The TM pass polarizer proposed in this paper is fabricated on an SOI wafer with a 2μ m thick SiO2 buffer layer.
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