5. HOST COMMUNICATION 5.1. SECS-II

5. HOST COMMUNICATION 5.1. SECS-II/GEM or HSMS 5.2. The Vendor Has Responsibility For Interface With Front And Rear M/C 5.3. SEMI E84 Interlock 5.4. The device should be reserve or allow an additional communication interface for data interaction 5.5. Ethernet Connection

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5. 主机通信 5.1. SECS-II/GEM 或 HSMS 5.2。供应商对前后 M/C 的接口负责 5.3。SEMI E84 互锁 5.4。 5.5设备应保留或允许额外的通信接口用于数据交互。以太网连接

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5.主机通信 5.1. SECS-II/GEM或HSMS 5.2. 供应商负责与前后M/C的接口 5.3. 半E84联锁 5.4. 设备应预留或允许额外的通信接口进行数据交互 5.5. 以太网连接

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5.主机通信5.1.SECS二级/创业板或HSMS5.2.供应商有责任与前后M/C接口5.3.半E84联锁5.4.该设备应该被保留或允许用于数据交互附加通信接口5.5.以太网连接

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