突発的なパーティクルの付着につきましては、弊社では日々の改善活動を行っております。不具合発生工程と想定される熱酸化前の洗浄工程において、バッ的简体中文翻译

突発的なパーティクルの付着につきましては、弊社では日々の改善活動を行っ

突発的なパーティクルの付着につきましては、弊社では日々の改善活動を行っております。不具合発生工程と想定される熱酸化前の洗浄工程において、バッチ洗浄から枚葉化することでパーティクルの再付着リスクをなくし、且つ、パーティクル除去力が向上することで、パーティクルリスクの低減を図ります。
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关于突然的颗粒附着，我们正在进行日常改进活动。在被认为是缺陷发生过程的热氧化之前的清洁过程中，通过分批清洁中的单晶圆消除了重新附着颗粒的风险，并且通过提高颗粒去除能力降低了颗粒风险。
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对于突发颗粒的粘附，我们每天进行改进活动。 在热氧化前的清洁过程中，假定发生缺陷的过程，通过从批次清洗中单片化，消除颗粒的再粘附风险，并提高颗粒去除能力，从而降低颗粒风险。
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关于突然附着的粒子，本公司每天都在进行改善活动。在被认为是故障发生工程的热氧化前的清洗工序中，通过从批洗到片叶化来消除粒子再附着的风险，并且提高粒子去除能力，从而降低粒子风险。<br>
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