電極構成物質の飛散等による微細粉塵の発生を良好に抑えることができ、また、窒素酸化物の発生も良好に抑え、さらには紫外線ランプから発生する紫外線量の減衰を少なくできる、新規なオゾン発生装置を提供することである。【解決手段】紫外線ランプ1と、この紫外線ランプ1の発光部を取り囲むように直接つながり、かつ、その内部にオゾン発生を行うための光化学反応用空間を形成し、さらにこの空間に流体を流す導入口3及び吐出口4を有する透明石英管2よりなることを特徴とする。さらに、紫外線ランプは冷陰極紫外線ランプであることを特徴とする。