From the perspective of copper depo

From the perspective of copper deposition morphology, the effects of nitrate, sulfate and chloride ion systems on the etching morphology of n-type single crystal silicon in the copper catalytic etching process are systematically analyzed

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从铜的沉积形态学角度，系统分析了硝酸盐，硫酸盐和氯离子系统对铜催化刻蚀工艺中n型单晶硅刻蚀形态的影响。

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从铜沉积形貌的角度，系统分析了铜催化腐蚀过程中硝酸盐、硫酸盐和氯离子体系对n型单晶硅刻蚀形貌的影响<BR>

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