在所有電影中,都觀察到壓縮應力狀態。從0.77到0.97 N/Mo比率,壓縮殘餘應力減少約85MPa。當薄膜中的氮含量(N/Mo = 1.05)少量增加時,應力狀態保持不變,這似乎與晶體尺寸的增加和ζ-MoN的逐漸出現有關。在 N/Mo 比率為 1.1 時,觀察到 ±290 MPa 的值(突然增加約 100 MPa)。高壓縮應力是由 Detor 報告的顆粒邊界和缺陷的高密度和缺陷產生的,並且六邊形 MoN. Sarioglu 等人報告說,六邊形 MoN 薄膜中的殘餘應力大於立方 Mo2N 中的殘餘應力。在XRD調查之後,它對應於最小的晶體大小和+-MoN和ζ-MoN相共存。
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